เครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนแบบคอนเดนเซอร์แก๊สอิเล็กทรอนิกส์ สําหรับการใช้งาน ultra-pure

ในอุตสาหกรรม เช่น การผลิตครึ่งตัวนํา และอิเล็กทรอนิกส์พิเศษก๊าซ ultra-pure (UHP)ต้องการเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อน ที่ทํามากกว่าการจัดการภาระความร้อน พวกเขาต้องรักษาความสมบูรณ์แบบของวัสดุเครื่องบดแก๊สอิเล็กทรอนิกส์ถูกออกแบบมาเพื่อบดแก๊สกระบวนการความบริสุทธิ์สูง โดยป้องกันการออกแก๊สโดยใช้วัสดุที่เคลือบด้วยไฟฟ้า และการออกแบบที่ปิดปิดหน่วยเหล่านี้ทําให้ความบริสุทธิ์ของก๊าซยังคงไม่ถูกส่งผลกระทบระหว่างกระบวนการเปลี่ยนเฟส.

ฟังก์ชันหลักของเครื่องประปาแก๊สอิเล็กทรอนิกส์คือการเปลี่ยนเฟสของแก๊สเป็นของเหลว (หรือภาวะที่อิ่ม) ด้วยความร้อนที่น้อยที่สุดการออกแบบถูกกํากับโดยสมการโอนความร้อน:

ในการใช้งาน UHPยูมีอิทธิพลอย่างมากจากการทําปลายพื้นผิวภายใน พื้นผิวที่ค่อนข้างหยาบคายจะนําไปสู่จุดการหยุดยั้งและการสะสมอนุภาคคอนเดนเซอร์ก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ถูกออกแบบมาเพื่อเพิ่มความวุ่นวายสูงสุดในขณะที่รักษาโปรไฟล์การไหลผ่านที่อยู่ใกล้ ๆ กันที่ป้องกันการสะสมของสารปนเปื้อน.

เมื่อจัดการกับก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ อุปกรณ์ระดับ "สแตนดาร์ด อินดัสเตรียล" ไม่เพียงพอ คอนเดนเซเซอร์ก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ต้องตอบสนองมาตรฐานระดับครึ่งประสาทที่แข็งแกร่งเพื่อป้องกันการทําลายล้างของสินค้า

• สแตนเลส VIM/VAR:การละลายด้วยการระตุ้นระยะว่าง / การละลายใหม่ระยะว่าง (VIM / VAR) เป็นสิ่งจําเป็นในการลดการรวมของโลหะที่ไม่เป็นโลหะในเหล็กที่ภายหลังอาจออกเป็นก๊าซในกระแสที่บริสุทธิ์มาก

• การเคลือบไฟฟ้า:กระบวนการไฟฟ้าเคมีนี้ทําให้พื้นผิวเรียบจนถึงระดับจุลินทรีย์

เพื่อรับประกันความบริสุทธิ์ เครื่องบดแก๊สอิเล็กทรอนิกส์มีลักษณะทางวิศวกรรมเฉพาะ:

• การออกแบบโซนตายศูนย์:กณิตศาสตร์ภายในถูกจําลองด้วยคอมพิวเตอร์ (CFD) เพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีกระเป๋าที่หยุดยั้งที่ก๊าซสามารถสะสมขึ้น โดยอาจปฏิกิริยาหรือลดลงตามเวลา

• ความสมบูรณ์แบบของการรั่วไหลของฮีเลียม:ทุกหน่วยต้องผ่านการทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียมอย่างเข้มงวด. มาตรฐานโดยทั่วไปต้องการอัตราการรั่วไหลอินทิกรัลที่น้อยกว่า 1 คูณ 10^{-9} text{ mbar}cdottext{l/s}.

• ความสะอาดแบบโมดูล:ชุดมวลชนมักจะทําความสะอาดใน Class 100 หรือสภาพแวดล้อมห้องสะอาดที่ดีกว่าและใส่ถุงสองครั้งเพื่อให้แน่ใจว่าพวกเขาถึงสถานที่ผลิตพร้อมสําหรับการบูรณาการ

แม้แต่ในระบบที่บริสุทธิ์ที่สุด ก็ยังต้องมีการบํารุงรักษา เพื่อให้ความสามารถทํางานได้อย่างยาวนาน

1. การนับอนุภาค:ตรวจตัวอย่างระยะสั้นของกระแสก๊าซด้านล่างของเครื่องประปา เพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีการทําลายผิวภายในเกิดขึ้น

2. การปรับระดับความร้อน:ให้แน่ใจว่า ผิวหน้าของสื่อเย็นถูกควบคุมอย่างแม่นยํา การเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิในการเย็นอาจนําไปสู่ "การแข็ง" ในพื้นที่หรือความแข็งไม่มั่นคงส่งผลให้แรงดันสูงขึ้นในระบบแก๊ส.

3. การตรวจสอบความสมบูรณ์แบบ:หากหน่วยถูกแยกออกเพื่อการบํารุงรักษา ต้องได้รับการรับรองใหม่เกี่ยวกับความแข็งแกร่งต่อการรั่วไหลของเฮลียู ก่อนนํากลับมาใช้งาน

Q: ทําไมสแตนเลส 316L "มาตรฐาน" ไม่เพียงพอสําหรับก๊าซ UHP?

A: มาตรฐาน 316L อาจมีรอยรวมหรือผิวลักษณะเล็กๆ จากกระบวนการแปรรูปความไม่สมบูรณ์แบบเหล่านี้สามารถจับความชื้นหรือสิ่งสกปรกที่มีปฏิกิริยาที่หลั่งเข้าไปในก๊าซกระบวนการตามเวลาทําลายแผ่นแผ่นครึ่งตัว

ถาม: เครื่องบดเหล่านี้สามารถรับมือกับก๊าซปฏิกิริยาได้หรือไม่

ตอบ: ใช่ แต่การเลือกวัสดุต้องเป็นเฉพาะสําหรับเคมีก๊าซ (เช่น การใช้ Hastelloy สําหรับชนิดที่รุนแรง)ตรวจสอบเสมอความเหมาะสมของพื้นผิว electropolished กับสายพันธุ์ก๊าซเฉพาะ.

ถาม: การตรวจสอบ " Ultra-Pure" ได้อย่างไร?

ตอบ: การตรวจสอบจะดําเนินการผ่านการทดสอบทางวิเคราะห์ที่กว้างขวาง รวมถึงการวิเคราะห์ความชื้น (ระดับppb) การวิเคราะห์ปริมาณออกซิเจน และการทดสอบฮิดรอคาร์บอนทั้งหมด (THC) หลังจากรอบการล้าง

การเลือกเครื่องคอนเดนเซอร์แก๊สอิเล็กทรอนิกส์สําหรับการใช้งาน ultra-pure เป็นการตัดสินใจด้านวิศวกรรมความแม่นยํา โดยเน้นการใช้วัสดุ VIM/VARคุณสร้างอุปสรรคที่แข็งแกร่ง เพื่อปกป้องความบริสุทธิ์ของน้ํามันของคุณ, รับประกันผลผลิตที่สูงขึ้นและคุณภาพกระบวนการที่สม่ําเสมอในการผลิตอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความรู้สึก

คุณพร้อมที่จะระบุเครื่องปรับแก๊สอิเล็กทรอนิกส์สําหรับกระบวนการของคุณหรือไม่

หากคุณกําลังประเมินความต้องการของคุณ สําหรับอัตราการไหลของก๊าซ ความสอดคล้องทางเคมีของก๊าซ หรือมาตรฐานการติดตั้งห้องสะอาดทีมวิศวกรของเราพร้อมที่จะช่วยในการประเมินทางเทคนิค.

คุณต้องการที่จะหารือความแตกต่างระหว่าง "ท่อในท่อ" และ "กระเป๋าและท่อ" การตั้งค่าสําหรับความต้องการ UHP การผสมผสานที่เฉพาะเจาะจงของคุณ